容器組件
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品名稱：FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品型號：FF-10BT/CT1型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
化學溶液補給泵| CFD 每次注射1 mL，點膠性能大幅提升 通過將排出量設(shè)定為每次注射1mL，與常規(guī)分配性能相比，分配性能顯著提高。 通過在必要時注入必要的*小量，可以高精度地執(zhí)行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外，可以抑制濃度的過沖，這導致洗滌溶液的成本降低。 另外，內(nèi)置虹吸防止機構(gòu)以防止化學液體流出。
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
的詳細介紹FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
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FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
FF-10BT/CT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
產(chǎn)品特點
提高點膠性能：通過將排出量設(shè)定為每次注射1mL，與常規(guī)分配性能相比，分配性能顯著提高。 通過在必要時注入必要的*小量，可以高精度地執(zhí)行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外，可以抑制濃度的過沖，這導致洗滌溶液的成本降低。 另外，內(nèi)置虹吸防止機構(gòu)以防止化學液體流出。
耐腐蝕結(jié)構(gòu)儀表：潤濕部分由全氟聚合物（PTFE，PFA，PCTFE）制成，并且它可以對應(yīng)于用于半導體應(yīng)用的化學品，例如酸，堿和過氧化氫。 此外，泵的外部采用樹脂（PTFE，PFA，PP，PVC）和PTFE涂層螺釘，具有高耐腐蝕結(jié)構(gòu)。它對應(yīng)于寬放電設(shè)置：通過拆下泵底部的蓋子可以很容易地調(diào)整行程長度。 每次注射*多可放電2.7 mL。 （出貨時，1毫升/次）
泄漏傳感器標準設(shè)備：泄漏傳感器即使在破碎的波紋管作為標準配置時也能快速響應(yīng)。
產(chǎn)品規(guī)格
| 一般規(guī)格 | |
| 用途 | 薬液補充用途 |
| 排出量 | 1mL/shot |
| *大排放壓力 | 0.05MPa |
| 處理液體溫度范圍 | 20～60℃ |
| *大沖程數(shù) | 30spm |
| 供氣壓力 | 0.15～0.3MPa |
| *大耗氣量 | 2.5NL/min |
| 接液部件材料 | PTFE、PFA、PCTFE |
| 泵連接端口直徑 | 1/4”PFAチューブ（φ6.35×4.35） |
| 供氣連接口直徑 | Rc1/8 |
| 重量 | 1.1kg |
| 光傳感器規(guī)格 | |
| 形式 | 透射式微光電傳感器 |
| 電源電壓 | 5～24V DC±10％ |
| 輸出格式 | NPN晶體管·集電極開路 |
| 允許電流 | 50mA以下 |
| 代碼 | PVC 4芯電纜外徑φ5.2mm電纜長度5 m帶圓形端子（0.5 - 4） |